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                          德國韋氏納米系統(香港)有限公司

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                          2Z-HVZ系列高真空MEMS焊封機的詳細資料

                          高真空MEMS焊封機

                          • 具有高可靠性的密封(可達到 10- 6 hPa)

                          • MEMS器件可以在2個不同溫度加熱區進行工藝,溫度差可高達450°,也可Getter 激活前密封

                          • 可以加工6MEMS平行工藝焊封(大6個適配器每個直徑14mm)

                          • 在真空中的溫度升率:35 K /M

                          • PID 控制器允許多達20個程序,每個程序可100個步驟存儲

                          • USB接口可以方便編程和存儲無限程序。過程數據可以記錄并保存

                          • 開放視窗結構允許連續監測/觀看的過程             

                          • 該系統使用與小量和概念MEMS,相比其他系統是一個低成本的解決方案

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                          應用:

                          •  焊縫MEMS微機械系統

                          • 吸氣劑活化

                          • 兩溫區熱處理工藝

                          德國韋氏納米系統(香港)有限公司主要供應等離子清洗機,基本型等離子清洗機,擴展型等離子清洗機,高功率等離子清洗機等產品。

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                          德國韋氏納米系統(香港)有限公司(www.darccom.com)主要供應等離子清洗機,基本型等離子清洗機,擴展型等離子清洗機,高功率等離子清洗機等產品。
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